多用户
不同的用户给予不一样的设备访问权限，比如：
- 设备人员：维护保养性质，需要极高的权限，比如暂停机组的运行、更换某个核心零部件，进行零部件的升级和诊断
- 工艺人员：使用者，偏向于产品配方和最终输出物的质量监控
- 生产人员：使用者，偏向于反应流程的控制（输入和输出）和质量把关
- 技术人员：开发者和维护者，最高权限
- 销售人员：演示产品的基本功能和特色，需要支持Customer用户模式
设备控制
以电机、机器臂、开关阀门、PLC的控制为主，整机对零部件的控制：
- 通过远程的总线进行读写寄存器配置，如modbus、EtherCAT、OPCUA
- 自定义通信协议，如UART ASCII控制、web技术、倍福ADS组件等
数据采集和事件记录
传感器的数据采集，通信接口可以是485、EtherNet、EtherCAT、模拟量、远程I/O，软件需要实时监控来自生产过程的敏感参数并记录它们的状态变化；设备运行日志也要有完整的时间日期、问题记录、运行状态记录，要求能够回溯检查一定时间段内的日志
HMI界面
比较合适的界面框架有C#或者Qt或者HTML，HMI界面的作用有：
- 传感器参数采集、展示和存储
- 反应过程的展示，包括气路、阀门、反应炉、机器臂的动态过程
- 设备诊断和安全告警功能
配方机制
工艺、材料相关的菜单，控制着反应炉的输入参数以及反应条件（温度、气压、真空度、流量等）
校准功能
机械、工艺、生产、反应、运动控制过程中的配置参数并不是一成不变的，而是随着装置的制造、安装、使用、老化以及环境的偏差会有所变化；因此，为了最终反应输出物符合要求，需要总结一些经验参数（公式），然后调整应用于生产过程，这就是校准功能
诊断协议
半导体设备及零部件有通用的设备诊断协议：SECS II标准
许可协议
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